無塵干燥箱

無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

一．無塵干燥箱用途:
PVC無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二．無塵干燥箱特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到最佳溫度控制精度。

三．無塵干燥箱產(chǎn)品技術參數(shù)：

1.主要技術指標：
   無塵等級：Class 100;                   溫度范圍： 60～ +300℃；
   溫度均勻度：200℃±4℃;             溫度波動度：±0.5℃（空載）        
   溫控精度：±0.1℃;                        工作尺寸：W800×D600×H1300         
   電源：380v , 50Hz，15KW         網(wǎng)板：2塊（高度可調節(jié))

潔凈度100級的潔凈熱處理
HEPA過濾器與前出風型水平層流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。最小限度控制風速距離。
M計裝可編程控制
1模式20步驟，最多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數(shù)在1-999次間設定。
簡單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。 

型號	溫度范圍	內容積	其它參數(shù)	內尺寸 （W×H×Dmm）	外尺寸 （W×H×Dmm）
PVC-178	(RT+60)～+200℃	178L	潔凈度：100級	580×530×580	770×1,280×1,025
PVC-380	(RT+60)～+200℃	380L	潔凈度：100級	580×1130×580	770×1,880×1,025
PVC-678	(RT+60)～+200℃	678L	潔凈度：100級	800×1130×750	1,030×1,880×1,025
PVHC-178	(RT+60)～+350℃	178L	潔凈度：100級	580×530×580	770×1,280×1,025
PVHC-380	(RT+60)～+350℃	380L	潔凈度：100級	580×1,130×580	770×1,880×1,025
PVHC-678	(RT+60)～+350℃	678L	潔凈度：100級	800×1,130×750	1030×1,880×1,210
PVHC-347MS	(RT+60)～+300℃	347L	潔凈度：100級	580×1,130×530	770×1,880×1,025
PVHC-633MS	(RT+60～+300℃	633L	潔凈度：100級	800×1,130×700	1,030×1,880×1,210

2、箱體結構：
   烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；
   箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
   內膽材料：采用優(yōu)質SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；
   中桶材料：采用優(yōu)質SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3、溫控系統(tǒng)：
   采用臺灣“宣榮”CAHO溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設定、PID自動演算、薄膜設定，精確度±0.3%FS。；
   訊號來源：采用PT100熱電阻±0.5%。
   輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。

4、完善的安全保護措施：
漏電斷路器、     控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過電流保護裝置、
馬達過電流保護、 機臺異常蜂鳴器警示   逆向防止器、       門面安全開關

5、選購設備(需另外收費)：
   可程式溫控器        無紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架

        宏展擁有一個專業(yè)從事環(huán)境試驗設備研發(fā)的科研機構，具備成熟的環(huán)試研制手段與試驗室，聚集了行業(yè)內一批優(yōu)秀的各類人才和知名專家，強大的研發(fā)團隊引領著國內環(huán)試技術發(fā)展方向．現(xiàn)目前公司具有自主知識產(chǎn)權的高低溫試驗箱、高低溫濕熱試驗箱、快速溫度變化試驗箱、冷熱沖擊試驗箱、三綜合試驗箱、高低溫低氣壓試驗箱、太陽輻射試驗箱、工業(yè)烤箱以及步入式高低溫濕熱試驗箱和高風速淋雨試驗箱等氣候環(huán)境試驗設備及訂制產(chǎn)品處于國內領先、國際高水準。 

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