潔凈室(Clean Room)也叫無塵室、無塵車間、潔凈廠房、無塵廠房、潔凈車間,是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。潔凈室應用涉及到光學電子、半導體芯片、LED液晶制造,生物醫藥、精密儀器、飲料食品,PCB印刷等高新技術企業,以及醫院和美容等行業的潔凈手術室(無塵手術室).
1.潔凈度100級 cleanliness class 100
潔凈室里大于等于0.5μm的塵粒數大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm的塵粒數為0。周期中建立模范標準的決心。
2.潔凈度1000級 cleanliness class 1000
潔凈室里大于等于0.5μm的塵粒數大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L);大于等于5μm的塵粒數小于等于300粒/m3(0.3粒/L)。
3.潔凈度10000級 cleanliness class 10000
潔凈室里大于等于0.5μm的塵粒數大于35000粒/m3(35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的塵粒數大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。
4.潔凈度100000級 cleanliness class 100000
潔凈室里大于等于0.5μm的塵粒數大于350000粒/m3(350粒/L)到小于等于3500000粒/m3(3500粒/L);大于等于5μm的塵粒數大于3000粒/m3(3粒/L)到小于等于30000粒/m3(30粒/L)。
5.潔凈度300000級 cleanliness class 300000
潔凈室里大于等于0.5μm的塵粒數大于3500000粒/m3(3500粒/L)到小于等于10500000粒/m3(10500粒/L);大于等于5μm的塵粒數大于30000粒/m3(30粒/L)到小于等于90000粒/m3(90粒/L)。