??SEMI S2-0200火災防護規(guī)范


SEMI S2-0200 第14節(jié) Fire Proctection

SEMI S2-0200第14節(jié)－火災防護，適用于設備內的火災危害的保護，提供防火安全設計以及設備控制上最低的安全標準。內容有14.2風險評估（Risk Assessment）、14.3認證報告（Reporting）、14.4火災風險降低（Fire Risk Reduction）、14.5警告和安全工作訓練（Warnings and Safe Work Practices）、14.6火災偵測及抑制系統(tǒng)的維修和測試（Maintenance and Testing of Fire Detection and Suppression Systems）、14.7環(huán)保（Environmental）等幾部分。

在風險評估方面強調「一份風險評估的數據應該由合格的第三者執(zhí)行(或判斷)以確認火災的潛在危害以及合適的控制方法。風險評估應該考慮設備內部正常操作及合理的可以預見的單一點失效。不考慮外部引火源的曝露。」，風險評估者需具有專業(yè)專門知識來從事火災危害風險分析，其資格請看SEMI S7 。

而一份認證的報告應對每種辨識出的殘存火災危害，有以下的三個特性：1.被指出的嚴重性、2.被指出的可能性，3.風險分類的結果。此份報告可作為采購部門采購設備的規(guī)范依據之一。

火災風險的降低可從幾個方面著手：
1.      選用不可燃材料－設備的結構應用不可燃性材料所構成。如果制程化學物質不允許使用不燃性材料，那么設備的材料應該是合適使用并且與使用之化學物質兼容，使火災的風險減至最輕。
2.      制程化學物質危害的消除－設計上應該考慮非易燃性制程化學物質來替換易燃性化學物質。
3.      利用工程控制－
a.    導因于設備材料的火災危害可以經由工程控制的方式減輕（例如：將可燃性的材料與引火源用不可燃性的障礙隔間、安裝滅火系統(tǒng)可以撲滅引火性物質。）
b.    火災偵測及滅火系統(tǒng)應該與電源及化學物質供應保持連鎖裝置，以避免在消防偵測或是滅火系統(tǒng)閑置時預防啟動設備。
c.    利用潔凈室排煙可以用來減輕因為產品燃燒引起火災的風險。減輕方法應該在火焰延燒時結合火警偵測及滅火系統(tǒng)。
4.      選用火災偵測系統(tǒng)－
a.    火災偵測器、警報及控制系統(tǒng)應該通過核可的測試實驗室驗證及合適的國際法規(guī)或是標準(如NFPA 72)來安裝。
b.    火災偵測系統(tǒng)應該有與廠房的警報系統(tǒng)相連接之接口。
c.    火災偵測系統(tǒng)啟動時應該在設備端發(fā)出可聽到的聲響及可見到的訊號。
d.    應該考慮火災偵測系統(tǒng)的手動啟動能力，使得警報可以傳送至時常有人工作的場所。
e.    提供一個備用電源可以維持偵測系統(tǒng)操作24 小時。
f.    火災偵測系統(tǒng)應該在EMO 啟動時仍然維持功能。
g.    偵測系統(tǒng)內部電力供應不能提供延長維修時間全部供應電力時，設備供貨商應提供不是移除火災危害就是安全地供應電力給偵測系統(tǒng)的文件程序。
h.    火災偵測系統(tǒng)啟動應該在設備的最短時間之內允許設備可以安全的停機。包括停止任何火災相關危害源（會對受影響的模塊或組件產生額外的火災風險）。
5.      選用火災抑制系統(tǒng)－
a.    火災抑制系統(tǒng)包括噴嘴、啟動器及相關的控制設施，應該經過合格的測試實驗室認證且其應用必須合適。抑制藥劑的選擇應該包括對于無塵室潛在的破壞的估算及選用破壞能力最小的藥劑。藥劑及供應系統(tǒng)應該依照合適的國際標準設計(例如：NFPA 12, NFPA 13, NFPA 2001)。
b.    設備上啟動火災抑制系統(tǒng)時，應該有可以聽到及看見的警報，這也有可能是由同樣的火警偵測系統(tǒng)啟動。
c.    如果藥劑釋放可能對人有危險，警報發(fā)生時應該有足夠的時間可以讓人員避免藥劑釋放產生的危害。
d.    如果在設備內部有一個局限空間，應該在該工作場所標示滅火系統(tǒng)可能帶來的缺氧風險。
e.    火災抑制系統(tǒng)應該在EMO 啟動時仍然維持功能。
f.    抑制系統(tǒng)內部電力供應不能提供延長維修時間全部供應電力時，設備供貨商應提供不是移除火災危害就是安全地供應電力給抑制系統(tǒng)的文件程序。
g.    提供一個備用電源可以維持抑制系統(tǒng)操作24 小時。
h.    火災抑制系統(tǒng)應該有與廠房的警報系統(tǒng)相連接之接口。
i.    火災抑制系統(tǒng)的啟動應該使設備在最短的時間內停機，并且使得設備可以安全的停機。
j.    火災抑制藥劑管線應該由防止腐蝕組件構成，設計上減輕水在組件附近的累積或是其它促進腐蝕的情形，機械設計上容易執(zhí)行檢查；管線的安裝及測試應確認其可以承受經常性的藥劑釋放的壓力。

警告和安全工作訓練方面，設備供貨商應將火災偵測及抑制系統(tǒng)的工作安全要求及警告成為提供文件的一部份。(例如：在火警偵測系統(tǒng)偵測的范圍內使用明火的限制，在加壓滅火設備儲存之危害性能量)。

火災偵測及抑制系統(tǒng)的維修和測試要求：
1.    設備供貨商應該提供詳細的每個設備的火災偵測及抑制系統(tǒng)的維護及測試程序，包括測試頻率。
2.    在無塵室內應該避免使用產生化學物質的測試設備(例如：罐裝的生煙器)。
3.    維護測試程序應該包括與廠房接口的測試以及辨識設備上之所有的火災偵測及抑制系統(tǒng)均能發(fā)揮功效。
4.    偵測及抑制系統(tǒng)在設計上應該可以藉由組件的維護保養(yǎng)使其成效不致降低(例如：產生偵測器的破壞)。
5.    設備供貨商應該將藥劑噴射時的噪音音壓位準文件化。
6.    作為火災偵測及抑制系統(tǒng)維護及測試的材料及程序不應該降低設備執(zhí)行其功能的能力。

環(huán)保要求為「設備供應者應該提供使用者設備的火災抑制藥劑釋放時造成影響的指引。」

總結
SEMI S2-0200火災防護規(guī)范
前言
在半導體廠房潔凈室里的意外事故統(tǒng)計上，以火災發(fā)生的次數最多，也最為嚴重。火災發(fā)生的原因很多，大部分都與制程設備有關，動輒數以億計的設備在潔凈室里處處皆是，火災發(fā)生所造成的財物損失與商機中斷，對公司的營運影響十分嚴重。因此廠商在采購設備時，如能滿足SEMI S2-0200半導體制造設備安全衛(wèi)生環(huán)保基準的要求，會將發(fā)生火災的風險降至最低，其涵蓋的內容相當的廣泛，規(guī)范要求也很多，以下僅就第14節(jié) 火災防護做介紹。設備火災防護除了需要風險評估和文件報告外，也應考慮如何減輕風險。設備結構的材料應優(yōu)先使用不可燃材質，其次是選擇不能傳播火焰的材質。這樣的觀念與SEMI S14（半導體制造設備火災風險評估與減輕基準）和NFPA318（潔凈室保護標準）相同，材料的選用是將火災風險降至最低，其與制程化學物質兼容性，也極重要的。減輕結構材料的危害，可使用不可燃性材質的屏障，將點火源與可燃性材質隔離，當然也可使用火災偵測與抑制系統(tǒng)。制程化學物質危害的減輕應考慮使用非易燃性化學品來取代易燃性化學品。使用工程控制方法來減輕風險，比如說連鎖裝置，當電力遽增或化學品溢散可能造成危害時，連鎖應能在偵測系統(tǒng)或抑制系統(tǒng)不能正常運作時，防止上述危害發(fā)生。排煙系統(tǒng)將煙抽離潔凈室也是另一種工程控制的方法。利用火災偵測和抑制系統(tǒng)也是如此，但系統(tǒng)的組件應能適用在制程設備上，需經過核可的測試實驗認證通過，且要按照合適的標準來安裝并能與廠務系統(tǒng)連結。在維修時，或一個設備控制失效時，或緊急手動關閉按鈕（EMO）按下時，要能維持正常運作。至于滅火動作可能對環(huán)境的危害也應在評估報告中提出。