中國科學院上海微系統與信息技術研究所原名中國科學院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的國立中央研究院工程研究所，是我國最早的工學研究機構之一。新中國成立后隸屬中國科學院，曾命名中國科學院工學實驗館、中國科學院冶金陶瓷研究所。2001年8月，根據科研領域和科技發展目標的調整，更名為中國科學院上海微系統與信息技術研究所（以下簡稱上海微系統所）。

在八十多年的發展進程中，上海微系統所始終圍繞國家戰略需求，調整科研布局，發揮了對國民經濟建設的骨干引領作用。上世紀五十年代，在國內率先研制成功球墨鑄鐵，成功解決了包鋼高含氟鐵礦的冶煉和稀土元素回收。六十年代中期，發展微電子和集成電路制造技術，與工業部門合作研制出國內第一塊工業實用PN結隔離集成電路、ECL高速電路和國內第一塊8位、16位微處理器。八十年代中期，開展微電子機械系統（MEMS）和SOI材料研究，在國內居領先地位，并在國際上占據了重要的一席之地。

1998年進入知識創新工程后，上海微系統所確定了電子科學與技術、信息與通信工程兩大學科領域和微小衛星、無線傳感網絡、未來移動通信、微系統技術、信息功能材料與器件五個學科方向，形成了“系統為牽引、系統帶器件、器件帶材料”的創新價值鏈。近年來，成功發射創新一號01、02和03星、“神舟七號”伴星，是我國微小衛星的重要研制基地；實施了 “上海世博會防入侵傳感網”、“浦東機場防入侵系統”、 “奧運會上海站火炬傳遞”、“太湖水質監控傳感網”等物聯網應用示范工程，引領物聯網核心技術，推升為國家戰略性新興產業；研發出具有自主知識產權的寬帶無線通信系統，應用于汶川和玉樹抗震搶險、上海世博會和廣州亞運會安防等重大事件，在抗震救災、維穩、公共安全、數字化城市等方面發揮了不可替代的作用；SOI材料實現產業化，填補國內空白，應用于國家重大關鍵工程，控股的上海新傲科技股份有限公司是國內唯一一個具有國際先進水平的國家級高端硅基材料產業化基地。

自建國以來，上海微系統所獲得國家級科技獎項46項、部省級347項，其中“甲種分離膜”技術獲國家科技進步特等獎，“高速、超高速雙極型數字集成電路”、“高端硅基SOI材料研發和產業化”獲國家科技進步一等獎。

上海微系統所現有傳感技術聯合國家重點實驗室/微系統技術重點實驗室、信息功能材料國家重點實驗室，有中科院微小衛星重點實驗室、中科院太赫茲固態技術重點實驗室、中科院無線傳感網與通信重點實驗室，設有傳感技術、信息功能材料、太赫茲固態技術、無線傳感網、物聯網系統技術、寬帶無線技術六個研究室和新能源技術中心、上海汽車電子工程中心，并在上海、南京、杭州、無錫、嘉興、南通與地方合作共建了七個分支機構，與德國亥姆霍茲國家研究中心于利希中心共建了超導與生物電子學聯合實驗室，，與中國鐵路通信信號集團公司共建了軌道交通傳感與傳輸聯合實驗室，與吉林大學共建了地球物理探測技術聯合實驗室，等。

上海微系統所現有在職職工803人，其中一線科技和管理人員606人，研究員及正高級工程技術人員94人，有中國科學院院士2人、中國工程院院士1人、美國國家科學院外籍院士1人，有國家“千人計劃”5人、中國科學院“百人計劃”18人、國家杰出青年科學基金獲得者4人、國家“百千萬人才工程”入選者6人、上海市科技領軍人才8人次。

上海微系統所是國務院學位委員會批準的首批博士、碩士學位授予單位之一，設有電子科學與技術、信息與通信工程兩個專業一級學科博士/碩士研究生培養點，材料物理與化學專業二級學科博士/碩士研究生培養點，有電子科學與技術、材料科學與工程兩個專業一級學科博士后流動站。現有在學研究生391人，其中碩士生214人、博士生177人，在站博士后19人。

面向“十二五”和“創新2020”，上海微系統所確定了圍繞國家戰略性新興產業，加快電子科學與技術、信息與通信工程兩大學科建設，解決“感知中國”戰略高技術問題，突破物聯網、MEMS核心器件、高端硅基SOI材料關鍵技術和產業化，成為無線傳感網、寬帶無線通信、微系統及相關材料與器件領域不可替代、“四個一流”研究所的戰略目標，為國民經濟建設和國家安全做出更大貢獻。